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清潔度無塵室解決方案介紹

清潔度無塵實解決方案規劃布局

可根據不同的客戶要求進行清潔度無塵實驗室規劃布局：

清潔度無塵室解決方案整體規劃布局：

1.風淋室、傳遞穿、可視玻璃窗

2.凈化結構部分、凈化系統部分、配電系統

3.各個功能區域的劃分，例如：清洗制樣區域、顆粒分析區域、文件存放區域等

4.清潔度無塵室滿足ISO14644-2015、GB50073-2001等標準要求

清潔度無塵實驗室承建主要分為：

1.凈化結構部分

2.凈化系統部分

3.配電部分

清潔度無塵實驗室主要劃分為以下幾個區域：

1.員工更衣室區域

2.清洗制樣區域

3.樣品分析區域（稱重以及顆粒大小分析）

4.樣件傳遞區域

5.清洗液存放區域

6.文件存放區域

客戶現場提供220V電源，常規用水即可。

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。